ＴＳＫ－ＰＮノズル取扱説明書

3.運転①圧力49kPa以下、温度200℃以下のエア、熱風、蒸気を供給してください。②TSK-PNノズルの型式、及びスリット巾によって、最大使用風速が決まっています。この最大使用風速以上の風速でご使用になられた場合、精度定格(左右の風速のバラツキ)±5%以内を確保できない可能性がありますので、ご注意ください。型式50PN(廃番)65PN75PNスリット巾スリット長さ最大使用風速スリット長さ最大使用風速スリット長さ最大使用風速1.0mm100～1000mm120m/s300～1500mm100m/s500～1500mm120m/s1.5mm100～1000mm90m/s300～1500mm75m/s500～1500mm90m/s2.0mm100～1000mm60m/s300～1500mm50m/s500～1500mm60m/s※TSK-PNノズルのスリット巾は固定となります(スリット巾の変更はできません)。4.分解・清掃●TSK-PNノズルは内部の分解清掃、及びメンテナンスできます。①エア漏れや劣化によりOリングを交換する場合・エア供給口および先端部の各端面の6ヶ所の端面用ネジを外し、各端面を取り外してOリングを交換してください。(Oリングの購入は、当社にお申し付けください。その際ご使用のTSK-PNノズルの型式・品番をお伝えください)。②TSK-PNノズル内部の汚れや、内部に蓄積した異物等を除去する場合・エア供給口および先端部の各端面の6ヶ所の端面用ネジを外し、各端面を取り外してください。チャンバ側面の整流板用ネジを全て取り外して、整流板を手前に引き抜いてください。チャンバ内部および整流板をブラシ(柔らかいもの)等で清掃してください。汚れがひどい場合は水洗浄をおこなってください。端面用ネジ(6ヶ)チャンバ整流板用ネジ整流板各端面を取り外した状態③交換、及び清掃後は逆の順序で組み立ててください。この際、各端面用のOリングと、整流板用ネジのOリングを元の状態で取り付けをおこなってください。-2-